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반도체공정 프로세스 시뮬레이션 Process Simulation 최적화 공정분석 (1)
반도체 공정의 다품종 교차생산 시 station 능력분석

반도체 공정의 설비능력 분석 사례 동일한 station에서 공정순서와 cycle time이 다른 두 가지 모델을 교차로 처리하는 과정입니다. 모델별 lot 수량에 따라 처리능력이 달라질 수 있으며, 전 후공정의 능력에도 영향을 미치는 상황입니다. 이와 같은 공정을 모듈화 하여 라인 전체 프로세스를 구성할 경우의 능력분석 및 delivery 예측을 위한 프로젝트가 되기도 합니다. 시사점 : 두 가지 이상의 모델이 동일 station에서 처리될 경우에는 해당 station 뿐 아니라 lot 구성에 따라 전.후 공정의 처리 능력에도 상당한 영햐을 미칩니다. 따라서 설계 프로세스의 impact를 시뮬레이션 분석을 통하여 예측하는 것이 시행착오를 줄이고 최적화된 공정설계의 필수과정이라고 할 수 있습니다.

프로젝트/전기.전자 2013. 5. 4. 11:38
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